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廢氣處理設備根據粉塵的大小濃度及特點而進行設計，不同的行業可使用的廢氣處理設備究其排放物特征進行選擇，比如橡膠廠所產生的排放物不僅存在煙塵還存在異味，需使用除煙設備和UV催化設備配合使用。

常見的廢氣處理設備有五大類：

1.等離子低溫凈化設備：
外加電場使介質放電產生的電子轟擊污染物分子，使其電離使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在1eV～10eV，可實現通常難以實現或速度很慢的化學反應變得快速。

2.活性炭吸附箱：

通過活性炭吸附廢氣分子，經過濾后，實現達標排放。

3.濾筒除塵器/布袋除塵器：

在動力和慣性的作用下，達到除塵除灰。

4.uv光氧催化設備：

采用高強度納米紫外線破壞、分解大分子鏈為小分子鏈，再利用臭氧和羥基自由基氧化、催化劑進行催化氧化，使有機物變為水和二氧化碳，以達到去除有機物的目的。

5.噴淋塔廢氣處理設備：

根據氣液兩相交疊流觸碰，使排放煙氣根據填料與液質充足觸碰后溶解或中和，進而實現溶解或廢氣凈化的作用。